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什么是激光干涉尺?为什么激光干涉尺精度高?【已解决】

什么是激光干涉尺?

激光干涉仪,以激光波长为已知长度,利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。

激光干涉尺的核心是频率稳定度很高的激光器,频率稳定度多在1e-8 至5e-8之间。当利用激光作为测量的基准时,这些误差折合到每米误差在0.01-0.05um之间。因此当利用激光的波长作为长度基准可以得到非常高的测量精度。

稳频激光器的精度很高,但振动对其是致命的,轻微的振动可能造成较大的频差。如果利用光纤将不抗震的激光光源引出,就可以彻底的解决振动问题,同时也避免了复杂的光路搭建,又杜绝了热的影响。

LAMOTION 的FLE光纤激光尺创新的利用特种光纤传导激光,配合快速实时的补偿,使测量精度达到0.8ppm以内,超快的补偿运算更使带宽达到惊人的2Mhz。

激光干涉仪的最大测量长度是多少CM?

目前市场上国内中图仪器激光干涉仪线性测长距离都在80米,具体测量参数如下:

测量距离:(0~80)m (无需远距离线性附件)

测量精度:0.5ppm (0~40)℃

测量分辨力:1nm

测量最大速度:4m/s

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